太阳能真空集热管镀膜机:

产品说明及原理：　

中国已进入WTO组织，中国的太阳能行业发展在世界也是处于领先地位的，太阳能真空集热管磁控溅射镀膜机及成套设备的出口势在必行。如何在技术上领先，占领先机，使设备“升级换代”已成为“雷特真空”决策层思考的重点。我们最先研究，开发的新型太阳能真空集热管全自动镀膜机主要特点如下：

1、采用触摸屏、PLC技术、智能化自动控制；

2、将一切影响镀膜膜层质量的可变因素进行了量化控制，使控制更完善，质量更稳定。

3、通过对镀膜工艺的调查了解，目前我国真空管生产厂家最流行的二套生产工艺：一套是以清华为代表的“单靶工艺”，其特点是工艺简单，成本低，效率高；另一套是北大教授引进的澳大利亚三靶（不锈钢靶、铜靶、铝靶）工艺，其特点是：工艺复杂，工艺时间长，生产效率相对低一些，优点是吸收率高，可达95%，是生产中、高温真空管的理想选择。

因此 ，我们针对二套生产工艺的特点，生产出一种可适合于二套工艺都可任意使用的综合设备—SCS—850Z三靶设备，用单靶时，选用不同的旋转工件架：

可镀：∮37×（1200—1800）mm真空管40支/炉，日产1900支左右；

可镀：∮47×（1500—2000）mm真空管34支/炉，日产1600支左右；

可镀：∮58×（1500—2000）mm真空管29支/炉，日产1300支左右；

4、靶材的安装、拆卸新设计了机械手装置，便于一个人很方便的安装、拆卸靶；

5、保留了镀膜机原有好的性能及新的改进，具体介绍如下：

（1）、新型磁场旋转外圆柱靶，靶材直径∮95，溅射更均匀，靶材利用率及效率更高。

（2）、油扩散泵由LT—500改为LT—650，配有两台2X—70机械泵，还配有维持泵，实现大抽速、高效率。

（3）、扩散泵炉温设计了炉温自动控制，节约了电能，提高了抽速，延长电炉丝使用寿命，新增了扩散泵炉丝断相声、光报警；

（4）、新增了水压断水声光报警，靶水回路新增了水流开关：只有水压没有水流则靶不能启动，更好地保护靶。

（5）、靶电源设计有软启动、过电流自动保护，自动恒流，工艺完成后自动关断靶电源等功能；

  （6）、新设计的光栏阀重复性好。

主要技术指标：